產品簡介

SJ6000激光干涉儀測量設備測量精度高、速度快，穩定性好，配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；應用范圍廣，可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結合軟件系統，也可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析，實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析。

SJ6000激光干涉儀測量設備測量精度高、速度快，穩定性好，配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；應用范圍廣，可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結合軟件系統，也可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析，實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析；軟件界面友好，向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

SJ6000激光干涉儀測量設備以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

系統組件

1、激光主機

精準——激光頻率穩定度高，可溯源至國家標準。

SJ6800激光主機由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計算機高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴展應用。

2、EC20環境補償單元

可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環境補償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長。

EC20環境補償單元可實時檢測環境條件的變化，同事進行激光波長補償。

EC20環境補償單元可連接三個材料溫度探頭，監測被測對象其材料的溫度變化，同事進行材料的熱膨脹補償。

EC20環境補償單元采用低功耗設計，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現場使用，EC20環境補償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標準線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱

其他組件

1、光學鏡組

（1）線性鏡組

應用于機器軸的定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等；也可用于機器軸的動態測量分析。

（2）角度鏡組

應用于機器軸的角擺測量和轉軸的旋轉角度測量；亦可以用于轉軸的角速度和角加速度的動態測量分析。

（3）直線度鏡組

應用于導軌或機器軸的直線度測量，包含水平方向和垂直方向的直線度。

（4）平面度鏡組

按照國標方式進行平面度的測量和分析，其平面度羈絆長度可調。

（5）線性附件-輕型線性鏡組

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡重量僅為8g，可以直接在被測物體上，有效降低線性反射鏡過重帶來的影響。主要應用于先行反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度；線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合；負載敏感的動態測量。

（6）大角錐反射鏡

應用于機器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量，起反射光束的作用。

（7）垂直度鏡組

應用于兩條相互垂直的機器軸的垂直度測量場合。

SJ6000測量分辨率0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。