NS系列軟膜材料臺(tái)階高度儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)。它是利用光學(xué)干涉原理,通過測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度,可以測(cè)量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
中圖儀器優(yōu)于4nm(SE)國(guó)產(chǎn)掃描電鏡憑借其簡(jiǎn)便的操作系統(tǒng),讓復(fù)雜的掃描電鏡使用過程變得簡(jiǎn)單快捷。樣品一鍵裝入,自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
CEM3000系列超清掃描顯微鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析。其抗振設(shè)計(jì),在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,拍攝出清晰、高分辨率的圖像。
VT6000系列國(guó)產(chǎn)共聚焦3D顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
SuperViewW白光干涉測(cè)量膜厚儀器3D重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別。不通倍率的鏡頭,適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。
中圖儀器SEM掃描電鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求,實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求,實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
NS系列臺(tái)階薄膜測(cè)厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器。采用線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。
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