產(chǎn)品簡介

在測量大尺寸樣品時(shí)，中圖3d輪廓檢測儀器的拼接功能，能將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

中圖3d輪廓檢測儀器可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm（可定制），測量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達(dá)0.1nm。采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

在測量大尺寸樣品時(shí)，中圖3d輪廓檢測儀器的拼接功能，能將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

在3C領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；

在LED行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；

在光纖通信行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；

在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量臺(tái)階高度和表面粗糙度；

在軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度；

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技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺(tái)階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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