產品簡介

中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀一體化操作軟件，測量與分析同界面操作，預先配置好分析參數，軟件自動統計測量數據，實現快速批量測量。

中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀分辨率達0.1nm，是一款專用于超精密加工領域的光學檢測儀器。

在EMES行業，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度；

在LED行業，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；

在集成電路行業，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在3C領域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；

在光纖通信行業，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；

在軍事領域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度；

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SuperViewW1光學3d輪廓儀性能特點

1. 特殊設計的隔振系統

雙通道氣浮隔振系統既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣的雙通道氣浮隔振系統，在無外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動，同時內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

2. 3D重建算法

重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，精度可以打亞納米級別。

3. 一體化操作軟件

一體化操作軟件，測量與分析同界面操作，預先配置好分析參數，軟件自動統計測量數據，實現快速批量測量。